无尘室内该如何防止微粒子污染呢?做到以下四点无尘室就不怕被微粒物污染。
一、不携入
在无尘室内不携入微粒子的方法有:
1)作业员进入无尘室前,机台、零件携入前应进行清洁处理;
2)进入无尘室者在更衣室要穿着不发尘、不产生静电的具特殊导电性纤维材质的无尘服、帽、鞋、手套、口罩等。
3)通过风淋室时利用高速干净空气除去附在衣服表面的粒子后,才能进入无尘室。
4)机器及材料带进无尘室前,应尽可能在密封状态下带进无尘室前室保养后用超纯水擦拭,经风淋室吹淋后才进入无尘室。
在最高等级的无尘室中从天花板到地面,完全除去微粒子的空气须在0.3-0.4m/s的速度作垂直向下流动。这是在约10秒内将室内空气和完全过滤空气完全交换所计算出来的数值。同时,空气的流向也必须要有精确的控制才行。特别要保证气流的流通路径畅通无阻,因为在流通路径中有障碍物的话,容易产生空气空气涡流而形成空气的滞留区域,使得附近已发生的微粒子无法快速排除而长时间漂流在无尘室内,而一部分会附着在周边机器设备的表面而引起污染。
控制气流可防止微粒子累积,但对于带电表面的微粒累积就无法防止。
为了防止由静电吸附而引起的微粒附着,通常在无尘室内会使用带电程度在数十伏以下的导电性材料。而对于制造品本身的带电,则采用带电程度很少的搬送形态及接触部品材料,并藉由除电装置进行除电。
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四、排除/除去在无法避免大量微粒子发生的机台中,为了不让无尘室内产生微粒子,因此直接做对外排气的动作,即所谓的局部排气。针对排气的对策如下:由于导入同量的外气是必要的,但会伴随大量的能源消耗。所以无法说是绝对理想的对策。因此尽可能地在压缩排气量的同时,不仅仅是向无尘室外排气,而应采用将除去粒子后的空气再回流到无尘室内之对策。